Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W - Просолов, Константин Александрович; Ластовка, Владимир Викторович; Толмачев, Алексей Иванович; Химич, Маргарита Андреевна; Сулиз, Константин Владимирович; Казанцев, Сергей Олегович; Ложкомоев, Александр Сергеевич; Шаркеев, Юрий Петрович 1950- (Известия высших учебных заведений. Физика)
Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий.