Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W

Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 66, № 12. С. 79-85
Other Authors:	Просолов, Константин Александрович, Ластовка, Владимир Викторович, Толмачев, Алексей Иванович, Химич, Маргарита Андреевна, Сулиз, Константин Владимирович, Казанцев, Сергей Олегович, Ложкомоев, Александр Сергеевич, Шаркеев, Юрий Петрович 1950-
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	высокочастотное магнетронное распыление несмешивающиеся металлы функциональные покрытия электровзрыв нанопорошки статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133907