Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала - Калыгина, Вера Михайловна; Зарубин, Андрей Николаевич; Новиков, Вадим Александрович; Петрова, Юлианна Сергеевна; Скакунов, Максим Сергеевич; Толбанов, Олег Петрович; Тяжев, Антон Владимирович; Яскевич, Тамара Михайловна (Известия высших учебных заведений. Физика)
Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300–400 нм) ТаxОy. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками.