Роль механизмов пластической деформации при формировании наноструктурированного кремния и его фотолюминесцентные свойства
Показана роль механизмов пластической деформации в процессе получения слоёв наноструктурированного кремния. Процесс получения наноструктурированного кремния заключается в том, что на поверхности кремниевой пластины выращивались слои окиси кремния различной толщины с последующим их удалением и об...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 1. С. 52-57 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139058 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Показана роль механизмов пластической деформации в процессе получения слоёв наноструктурированного кремния. Процесс получения наноструктурированного кремния заключается в том, что на поверхности кремниевой пластины выращивались слои окиси кремния различной толщины с последующим их удалением и обработкой в избирательных химических травителях (ИТ) до появления бездефектного островкового кремния, обладающего фотолюминесцентными свойствами, характерными для наноструктурированного кремния. Из анализа спектров интенсивности фотолюминесценции, полученных от области островков наноструктурированного кремния, сделан вывод о различии механизмов пластической деформации для различных толщин выращенного оксида кремния. Обсуждаются возможные механизмы смещения максимума интенсивности спектра фотолюминесценции (ФЛ) в коротковолновую область спектра при уменьшении размеров островков наноструктурированного кремния. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 11 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |