Роль механизмов пластической деформации при формировании наноструктурированного кремния и его фотолюминесцентные свойства
Показана роль механизмов пластической деформации в процессе получения слоёв наноструктурированного кремния. Процесс получения наноструктурированного кремния заключается в том, что на поверхности кремниевой пластины выращивались слои окиси кремния различной толщины с последующим их удалением и обрабо...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 1. С. 52-57 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139058 |