Роль механизмов пластической деформации при формировании наноструктурированного кремния и его фотолюминесцентные свойства
Показана роль механизмов пластической деформации в процессе получения слоёв наноструктурированного кремния. Процесс получения наноструктурированного кремния заключается в том, что на поверхности кремниевой пластины выращивались слои окиси кремния различной толщины с последующим их удалением и обрабо...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 1. С. 52-57 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139058 |