| Summary: | Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состоит из двух компонент: плазмы, дрейфующей из области магнитных ловушек магнетронов, и плазмы, генерируемой осциллирующими электронами непосредственно в объеме камеры. В случае сбалансированной конфигурации магнитного поля магнетронов плазма в центре вакуумной камеры объемом ~ 10 л имеет концентрацию (1–2)·10^13 см^(–3) при амплитуде тока разряда магнетронов 350 А. Использование несбалансированной конфигурации магнитного поля позволяет увеличить концентрацию плазмы в центральной части вакуумной камеры до ~ 6·10^13 см^(–3).
|
|---|
