|
|
|
|
| LEADER |
03223nab a2200349 c 4500 |
| 001 |
koha001139230 |
| 005 |
20241119170749.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240508|2012 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001139230
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда
|c А. В. Козырев, Н. С. Сочугов, А. Н. Захаров [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 5 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состоит из двух компонент: плазмы, дрейфующей из области магнитных ловушек магнетронов, и плазмы, генерируемой осциллирующими электронами непосредственно в объеме камеры. В случае сбалансированной конфигурации магнитного поля магнетронов плазма в центре вакуумной камеры объемом ~ 10 л имеет концентрацию (1–2)·10^13 см^(–3) при амплитуде тока разряда магнетронов 350 А. Использование несбалансированной конфигурации магнитного поля позволяет увеличить концентрацию плазмы в центральной части вакуумной камеры до ~ 6·10^13 см^(–3).
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные разряды
|
| 653 |
|
|
|a плазменно-иммерсионная обработка
|
| 653 |
|
|
|a генераторы плазмы
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Козырев, Андрей Владимирович
|c физик
|
| 700 |
1 |
|
|a Сочугов, Николай Семенович
|
| 700 |
1 |
|
|a Захаров, Александр Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскирко, Владимир Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Семенов, Вячеслав Аркадьевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Семенюк, Наталья Степановна
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2012
|g Т. 55, № 2. С. 61-67
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139230
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1139230
|d 1139230
|
