Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда

Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда

Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состои...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 55, № 2. С. 61-67
Другие авторы:	Козырев, Андрей Владимирович физик, Сочугов, Николай Семенович, Захаров, Александр Николаевич, Оскирко, Владимир Олегович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Семенюк, Наталья Степановна
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	магнетронные распылительные системы магнетронные разряды плазменно-иммерсионная обработка генераторы плазмы статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001139230

Похожие документы

Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge

Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда
по: Рычков, Д. С.

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Рычков Дмитрий Сергеевич
Публикация: (2004)

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Рычков Дмитрий Сергеевич
Публикация: (2004)

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
по: Блейхер, Галина Алексеевна

Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
по: Захаров, А. Н.

Генераторы и усилители колебаний радиочастот: научное издание/
по: Денисов, И. Д. Иван Дмитриевич
Публикация: (1963)

Релятивистские магнетронные СВЧ-генераторы
по: Винтизенко, Игорь Игоревич 1960-
Публикация: (2009)

Структура и свойства покрытия из кремния на поверхности образцов из никелида титана, полученного методом плазменно-иммерсионной ионной обработки

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Plasma immersion ion implantation for surface treatment of complex branched structures

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Закономерности плазменно-иммерсионного формирования длинноимпульсных высокоинтенсивных пучков ионов титана

СВЧ-приборы со скрещенными полями (патенты США, Великобритании, Франции, ФРГ, Японии за 1965-1975 гг.) : [реферативный обзор]
по: Воробьева, Зоя Михайловна
Публикация: (1976)

Изнашивание магнетронных покрытий на основе системы Cu-Mo-S в условиях приложения электрического тока
по: Жарков, Станислав Юрьевич

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Проектирование радиопередающих устройств для систем подвижной радиосвязи: учебное пособие/
по: Зырянов, Ю. Т. Юрий Трифонович, et al.
Публикация: (2017)

Влияние напряжения смещения на однородность плазменно-иммерсионного нанесения покрытий
по: Слабодчиков, Владимир Андреевич

Плазменно-иммерсионная ионная обработка изделий со сложно-разветвленной формой поверхности

Техника и приборы СВЧ [учебник для вузов по специальности "Электронные приборы"]
по: Лебедев, Игорь Всеволодович
Публикация: (1972)

Изготовление, модифицирование и исследование материалов биомедицинского назначения сборник методических указаний
Публикация: (2022)

Генераторы и усилители СВЧ/
по: Агапов, М. В., et al.
Публикация: (2005)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Паненты Великобритании по СВЧ приборам со скрещенными полями
по: Воробьева, Зоя Михайловна
Публикация: (1969)

Физические особенности формирования плазмы в протяженном полом аноде импульсного несамостоятельного дугового разряда

Метод высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации
по: Рябчиков, Игорь Александрович

Исследование характера эндотелизации внутренней поверхности саморасширяющихся стентов из никелида титана с ионно-иммерсионной модификацией поверхности кремнием у экспериментальных животных после имплантации в динамике