Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления - Конищев, Максим Евгеньевич; Кузьмин, Олег Станиславович; Пустовалова, Алла Александровна; Морозова, Наталья Сергеевна; Евдокимов, Кирилл Евгеньевич; Сурменев, Роман Анатольевич; Пичугин, Владимир Федорович; Эппле, Маттиас (Известия высших учебных заведений. Физика)
Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti–O–N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики.