Формирование примесно-дефектных комплексов меди и их влияние на электрофизические свойства кремния
Методом измерения удельного сопротивления, концентрации и времени жизни носителей заряда (τ), а также с помощью инфракрасного микроскопа определены типы и природа структурных дефектов в кремнии р-типа, легированном медью. Обнаружено увеличение и стабилизация значений τ, обусловленные образованием...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 1. С. 57-62 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140212 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03479nab a2200505 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001140212 | ||
| 005 | 20240604124051.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240528|2014 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001140212 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Формирование примесно-дефектных комплексов меди и их влияние на электрофизические свойства кремния |c М. Каримов, Ш. Махкамов, Н. А. Турсунов [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 15 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Методом измерения удельного сопротивления, концентрации и времени жизни носителей заряда (τ), а также с помощью инфракрасного микроскопа определены типы и природа структурных дефектов в кремнии р-типа, легированном медью. Обнаружено увеличение и стабилизация значений τ, обусловленные образованием уровня прилипания, связанного с комплексом «медь - кислород» [Cu-O] в кремнии. Показано, что уход атомов меди от насыщенной дислокации в объем слаболегированного кремния в процессе медленного охлаждения после высокотемпературной диффузии связан с распадом твердого раствора Si-Cu. | |
| 653 | |a электрофизические свойства | ||
| 653 | |a кремний р-типа | ||
| 653 | |a рекомбинационные центры | ||
| 653 | |a уровень прилипания | ||
| 653 | |a время жизни носителей заряда | ||
| 653 | |a концентрация носителей заряда | ||
| 653 | |a легирование | ||
| 653 | |a скорость охлаждения | ||
| 653 | |a структурные дефекты | ||
| 653 | |a преципитаты | ||
| 653 | |a диффузия | ||
| 653 | |a примеси | ||
| 653 | |a медь | ||
| 653 | |a удельное сопротивление | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 963400 | |
| 700 | 1 | |a Каримов, Махамадали |9 958792 | |
| 700 | 1 | |a Махкамов, Шермахмат |9 553001 | |
| 700 | 1 | |a Турсунов, Нигматилла Алиакбарович |9 963402 | |
| 700 | 1 | |a Бакиев, Саидамин Алимович |9 963403 | |
| 700 | 1 | |a Махмудов, Шерзод Ахмадович |9 762929 | |
| 700 | 1 | |a Саттиев, Абдулазиз Расулжонович |9 963405 | |
| 700 | 1 | |a Акрамов, Фазлидин Суннатуллаевич |9 963406 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2014 |g Т. 57, № 1. С. 57-62 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140212 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1140212 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1140212 |d 1140212 | ||
| 039 | |b 100 | ||