Исследование многокомпонентных наноструктурных (Ti–Zr–Hf–V–Nb)N покрытий ядерно-физическими методами анализа до и после термического отжига - Погребняк, Александр Дмитриевич; Береснев, Вячеслав Мартынович; Бондарь, Александр Вячеславович; Каверин, Михаил Валерьевич; Пономарев, Александр Георгиевич (Известия высших учебных заведений. Физика)
С помощью различных взаимодополняющих методов элементно-структурного анализа, таких, как медленный пучок позитронов (SPB), микропучок протонов (μ-PIXE), микро- и нанопучок электронов (EDS- и SEM-анализ), метод фазово-структурного анализа XRD, метод «a – sin2ϕ» измерений напряженно-деформированного состояния (рентгеновская тензометрия), исследованы многокомпонентные, наноструктурные покрытия из (Ti–Zr–Hf–V–Nb)N толщиной 1,0–1,4 мкм, полученные методом Сathodic – Arc – Vapor – Deposition при температуре синтеза 250–300 ºС. В данных покрытиях были изучены элементный состав, микроструктура, остаточные напряжения в нанозернах, профили распределения дефектов и атомов по глубине и на поверхности покрытия в 3D-представлении, исследован фазовый состав, напряженно-деформированное состояние, текстура покрытий до и после отжига при Тотж = 600 ºС и времени отжига τ = 30 мин. Показано, что можно в значительной степени повысить устойчивость рассматриваемых покрытий к окислению при высокотемпературном отжиге образованием значительного упругого напряженно-деформированного состояния сжатия в покрытии. Было обнаружено перераспределение элементов и дефектов, их сегрегация вблизи границ раздела интерфейсов, вокруг зерен и субзерен за счет термостимулированной диффузии и окончания процесса спинодальной сегрегации, без значительного изменения среднего размера нанозерен.