Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда
Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14–30 станд. см3/мин) и от колебательной мо...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 1. С. 63-67 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140353 |