|
|
|
|
| LEADER |
02601nab a2200337 c 4500 |
| 001 |
koha001140365 |
| 005 |
20240604162412.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240531|2013 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001140365
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Кабышев, Александр Васильевич
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
|c А. В. Кабышев, Ф. В. Конусов, Г. Е. Ремнев
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 24 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10–2 Па, 300–1200 К) на характеристики поверхностной темновой и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термовакуумной обработки, при которой достигаются изменения свойств, наиболее устойчивые к термическому и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик материала.
|
| 653 |
|
|
|a поликристаллический кремний
|
| 653 |
|
|
|a имплантация ионов
|
| 653 |
|
|
|a фотопроводимость
|
| 653 |
|
|
|a вакуумный отжиг
|
| 653 |
|
|
|a фоточувствительность
|
| 653 |
|
|
|a термовакуумная обработка
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Конусов, Федор Валерьевич
|
| 700 |
|
|
|a Ремнев, Геннадий Ефимович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2013
|g Т. 56, № 6. С. 3-7
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140365
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1140365
|d 1140365
|
