Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10-2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой и фотопроводимости кремния. Определены оп...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 6. С. 3-7 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140365 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02822nab a2200361 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001140365 | ||
| 005 | 20240604162412.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240531|2013 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001140365 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Кабышев, Александр Васильевич |9 795572 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов |c А. В. Кабышев, Ф. В. Конусов, Г. Е. Ремнев |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 24 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10-2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термовакуумной обработки, при которой достигаются изменения свойств, наиболее устойчивые к термическому и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик материала. | |
| 653 | |a поликристаллический кремний | ||
| 653 | |a имплантация ионов | ||
| 653 | |a фотопроводимость | ||
| 653 | |a вакуумный отжиг | ||
| 653 | |a фоточувствительность | ||
| 653 | |a термовакуумная обработка | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 963779 | |
| 700 | 1 | |a Конусов, Федор Валерьевич |9 157473 | |
| 700 | |a Ремнев, Геннадий Ефимович |9 168077 | ||
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2013 |g Т. 56, № 6. С. 3-7 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140365 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1140365 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1140365 |d 1140365 | ||