Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов

Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10–2 Па, 300–1200 К) на характеристики поверхностной темновой и фотопроводимости кремния. Определены оптимал...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 6. С. 3-7
Главный автор:	Кабышев, Александр Васильевич
Другие авторы:	Конусов, Федор Валерьевич, Ремнев, Геннадий Ефимович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	поликристаллический кремний имплантация ионов фотопроводимость вакуумный отжиг фоточувствительность термовакуумная обработка статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140365

Похожие документы

Метод высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации
по: Рябчиков, Игорь Александрович

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fe-Be: автореферат диссертации ... кандидата физико-математических наук: 01.04.07/
по: Нуркенов, С. А. Серик Амангельдинович
Публикация: (2017)

Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии

Электрофизические характеристики МЛЭ пленок КРТ после имплантации ионов As

Модификация поверхностного сопротивления кремнийорганической резины методом имплантации ионов металлов
по: Васенина, Ирина Владимировна

Зависимость свойств ионно-легированных слоев GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
по: Ардышев, Михаил Вячеславович

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота

Влияние дозы имплантации на фазовый состав УМЗ-титана

Влияние имплантации на упрочнение сплава ВТ 1-0

Модификация поверхностных физико-химических свойств поливинилового спирта. Влияние имплантации ионов серебра, электронной и плазменной обработки

Анализ формирования концентрационных полей в титане при имплантации ионов алюминия через осаждаемую на поверхность мишени газо-металлическую пленку

Моделирование деформационного поведения поликристаллического титана
по: Емельянова, Евгения Сергеевна

Формирование, фокусировка и транспортировка высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии

Источник ионов на основе вакуумного дугового и тлеющего разрядов для модификации поверхности полимерных материалов

Формирование наноструктурных интерметаллидных поверхностных слоев титана методом высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия
по: Божко, Ирина Александровна

Фотоэлектрические явления в полупроводниках/
по: Рывкин, С. М. Соломон Меерович
Публикация: (1963)

Кинетика автоволн локализованной пластичности на стадии ускоренной ползучести поликристаллического алюминия
по: Орлова, Дина Владимировна

Исследование фоточувствительности к рентгеновскому излучению сенсоров на основе карбида кремния и монокристаллического сапфира

Исследование деформационного рельефа поликристаллического никеля методом картирования

Формирования интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации
по: Сивин, Денис Олегович

Особенности имплантации ионов аргона и азота в эпитаксиальные пленки КРТ, выращенные методом МЛЭ
по: Григорьев, Денис Валерьевич

Hall-effect studies of modification of HgCdTe surface properties with ion implantation and thermal annealing

Комплексное теоретико-экспериментальное исследование процесса динамического нагружения поликристаллического льда. Итоги научно-исследовательской работы за 2013 г.
по: Орлов, Максим Юрьевич

Формирование интерметаллидных поверхностных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

Активационный отжиг имплантированных As МЛЭ структур CdHgTe

Direct comparison of the results of arsenic ion implantation in n– and p–type Hg0.8Cd0.2Te

Plasma immersion ion implantation for surface treatment of complex branched structures

Моделирование эффективности сбора заряда и фоточувствительности карбид кремниевых и сапфировых сенсоров рентгеновского излучения

Ионная имплантация биосовместимых полимеров в установках на основе вакуумного дугового разряда
по: Васенина, Ирина Владимировна

Роль размера зерен поликристаллического титана в формировании концентрационных профилей имплантируемых ионов алюминия

Структура и свойства покрытия из кремния на поверхности образцов из никелида титана, полученного методом плазменно-иммерсионной ионной обработки

Моделирование деформационного поведения при одноосном нагружении и определение представительного объема поликристаллического α-титана на мезоуровне
по: Писарев, Максим Александрович

High-sensitive two-layer photoresistors based on р-CdxHg1-HGxTe with a converted near-surface layer
по: Ismailov, N. D.

Влияние температуры обработки на средний размер зерна УМЗ-титана

Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/
по: Симонов, В. В. Владимир Валентинович, et al.
Публикация: (1988)

Влияние природы имплантируемого иона на физико-химические свойства поливинилового спирта
по: Лапуть, Олеся Александровна

Влияние высокоинтенсивной ионной имплантации на процесс образования наноразмерных интерметаллидных фаз в системе Ni-Al

Фоточувствительность сенсибилизированного поли-N-винилкарбазола