| Summary: | Выполнено экспериментальное исследование KrF-лазера с длительностью импульса излучения на полувысоте 20 нс. Создана самосогласованная модель, учитывающая электрическую схему, кинетические процессы в активной среде и формирование лазерного излучения в резонаторе. Представлены расчетные результаты временных зависимостей: разрядного тока и напряжения на конденсаторе и на электродах разряда; концентрации частиц плазмы, скорости процессов, определяющих характеристики разряда и лазерного излучения. Выявлены процессы, от которых зависели характеристики объемного разряда и лазерного излучения. Подробно исследована кинетика процессов образования и разрушения эксимерных молекул KrF. Показано, что высокие скорости потерь эксимерных молекул увеличивали время запаздывания генерации, что снизило эффективность лазера и ограничило возможность уменьшения длительности импульса лазерного излучения.
|
|---|
