Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы
Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологи...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 9. С. 80-85 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическими параметрами их осаждения. Наиболее оптимальными свойствами получаемые пленки обладают при их конденсации в области температур ~ 373-386 К. Термический отжиг пленок в вакууме при 430-470 К улучшает их электрофизические параметры за счет реиспарения низкомолекулярных комплексов из структуры и снижения в ней концентрации дефектов и спин-радикалов, а отжиг в атмосфере воздуха приводит к образованию дополнительных полярных групп. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 11 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |