Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы
Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическим...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 9. С. 80-85 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740 |
| Итог: | Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическими параметрами их осаждения. Наиболее оптимальными свойствами получаемые пленки обладают при их конденсации в области температур ~ 373–386 К. Термический отжиг пленок в вакууме при 430–470 К улучшает их электрофизические параметры за счет реиспарения низкомолекулярных комплексов из структуры и снижения в ней концентрации дефектов и спин-радикалов, а отжиг в атмосфере воздуха приводит к образованию дополнительных полярных групп. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: 11 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |