|
|
|
|
| LEADER |
02615nab a2200301 c 4500 |
| 001 |
koha001140740 |
| 005 |
20240613154146.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240607|2014 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001140740
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Лучников, Петр Александрович
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы
|c П. А. Лучников
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 11 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическими параметрами их осаждения. Наиболее оптимальными свойствами получаемые пленки обладают при их конденсации в области температур ~ 373–386 К. Термический отжиг пленок в вакууме при 430–470 К улучшает их электрофизические параметры за счет реиспарения низкомолекулярных комплексов из структуры и снижения в ней концентрации дефектов и спин-радикалов, а отжиг в атмосфере воздуха приводит к образованию дополнительных полярных групп.
|
| 653 |
|
|
|a фторполимеры
|
| 653 |
|
|
|a пленки
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a электронная обработка
|
| 653 |
|
|
|a термический отжиг
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2014
|g Т. 57, № 9. С. 80-85
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1140740
|d 1140740
|
