Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы
Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологи...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 9. С. 80-85 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02814nab a2200325 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001140740 | ||
| 005 | 20240613154146.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240607|2014 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001140740 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Лучников, Петр Александрович |9 442369 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы |c П. А. Лучников |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 11 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическими параметрами их осаждения. Наиболее оптимальными свойствами получаемые пленки обладают при их конденсации в области температур ~ 373-386 К. Термический отжиг пленок в вакууме при 430-470 К улучшает их электрофизические параметры за счет реиспарения низкомолекулярных комплексов из структуры и снижения в ней концентрации дефектов и спин-радикалов, а отжиг в атмосфере воздуха приводит к образованию дополнительных полярных групп. | |
| 653 | |a фторполимеры | ||
| 653 | |a пленки | ||
| 653 | |a плазма | ||
| 653 | |a электронная обработка | ||
| 653 | |a термический отжиг | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 964566 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2014 |g Т. 57, № 9. С. 80-85 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1140740 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1140740 |d 1140740 | ||