Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы
Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическим...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 9. С. 80-85 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740 |