Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы

Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическим...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 9. С. 80-85
Main Author:	Лучников, Петр Александрович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	фторполимеры пленки плазма электронная обработка термический отжиг статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740