Механизмы формирования структуры и электрические свойства фторполимерных пленок, осажденных из активной газовой фазы

Рассмотрены механизмы формирования фторполимерных покрытий на подложках кремния из активной газовой фазы при направленной технологической обработке ускоренными электронами и ионами. Установлено, что электрические параметры получаемых пленок фторполимера в сильной степени определяются технологическим...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 9. С. 80-85
Главный автор:	Лучников, Петр Александрович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	фторполимеры пленки плазма электронная обработка термический отжиг статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140740