Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия - Калыгина, Вера Михайловна; Петрова, Юлианна Сергеевна; Прудаев, Илья Анатольевич; Толбанов, Олег Петрович (Известия высших учебных заведений. Физика)
Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл – оксид – полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в комнатной атмосфере структуры не меняют своих свойств, что проявляется в стабильности электрических характеристик.