Распределения стабильных кластеров по размерам и зарядам при ионном распылении металла
Развита теория ионного распыления металла в виде возбужденных нейтральных и заряженных кластеров с их последующей фрагментацией до стабильного состояния, основанная на простых физических предположениях и находящаяся в неплохом согласии с экспериментом. Результаты представлены в виде удобных для испо...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 6. С. 13-18 |
|---|---|
| Main Author: | Матвеев, Виктор Иванович |
| Other Authors: | Капустин, Сергей Николаевич |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141261 |
Similar Items
-
Исследование образования отрицательно-ионных и нейтральных кластеров при распылении карбида кремния и ЩГК ионами цезия Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.04
by: Абдуллаев, Аскар Хусинович
Published: (1995) -
Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
by: Бурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич
Published: (1981) -
Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
by: Аверин, Игорь Александрович
Published: (2009) - Особенности повреждения свободных поверхностей ОЦК-железа при ионном облучении
-
Пучки распыляющих ионов: получение и применение: монография/
by: Семенов Александр Петрович
Published: (1999)
