Распределения стабильных кластеров по размерам и зарядам при ионном распылении металла
Развита теория ионного распыления металла в виде возбужденных нейтральных и заряженных кластеров с их последующей фрагментацией до стабильного состояния, основанная на простых физических предположениях и находящаяся в неплохом согласии с экспериментом. Результаты представлены в виде удобных для испо...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 6. С. 13-18 |
|---|---|
| Главный автор: | Матвеев, Виктор Иванович |
| Другие авторы: | Капустин, Сергей Николаевич |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141261 |
Похожие документы
-
Исследование образования отрицательно-ионных и нейтральных кластеров при распылении карбида кремния и ЩГК ионами цезия Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.04
по: Абдуллаев, Аскар Хусинович
Публикация: (1995) -
Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Бурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич
Публикация: (1981) -
Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009) - Особенности повреждения свободных поверхностей ОЦК-железа при ионном облучении
-
Пучки распыляющих ионов: получение и применение: монография/
по: Семенов Александр Петрович
Публикация: (1999)
