Свойства сенсоров сероводорода на основе тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама
Изучено влияние сероводорода в диапазоне концентраций 0-100 ppm на характеристики полученных методами магнетронного напыления тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама, модифицированных золотом в объеме и на поверхности. В объем пленок SnO₂ дополнительно вводили примеси сурьмы и никеля. Оп...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 8. С. 66-72 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141709 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Изучено влияние сероводорода в диапазоне концентраций 0-100 ppm на характеристики полученных методами магнетронного напыления тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама, модифицированных золотом в объеме и на поверхности. В объем пленок SnO₂ дополнительно вводили примеси сурьмы и никеля. Определена оптимальная рабочая температура сенсоров 350 ºС, при которой имеет место удовлетворительное соотношение между значениями отклика на H₂S и времени отклика. Исследована деградация характеристик сенсоров в процессе долговременных (~0.5-1.5 года) испытаний при рабочей температуре и периодическом воздействии сероводорода, а также после хранения образцов в лабораторном воздухе. Показано, что для создания сенсоров H₂S наиболее перспективными являются тонкие нанокристаллические пленки Au/WO₃:Au, которые характеризуются линейной концентрационной зависимостью отклика и высокой стабильностью параметров при эксплуатации. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 15 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |