Свойства сенсоров сероводорода на основе тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама

Изучено влияние сероводорода в диапазоне концентраций 0–100 ppm на характеристики полученных методами магнетронного напыления тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама, модифицированных золотом в объеме и на поверхности. В объем пленок SnO₂ дополнительно вводили примеси сурьмы и никеля. Опр...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 8. С. 66-72
Другие авторы: Севастьянов, Евгений Юрьевич, Максимова, Надежда Кузьминична, Черников, Евгений Викторович, Сергейченко, Надежда Владимировна, Рудов, Федор Валентинович
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141709
Описание
Итог:Изучено влияние сероводорода в диапазоне концентраций 0–100 ppm на характеристики полученных методами магнетронного напыления тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама, модифицированных золотом в объеме и на поверхности. В объем пленок SnO₂ дополнительно вводили примеси сурьмы и никеля. Определена оптимальная рабочая температура сенсоров 350 ºС, при которой имеет место удовлетворительное соотношение между значениями отклика на H₂S и времени отклика. Исследована деградация характеристик сенсоров в процессе долговременных (~0.5–1.5 года) испытаний при рабочей температуре и периодическом воздействии сероводорода, а также после хранения образцов в лабораторном воздухе. Показано, что для создания сенсоров H₂S наиболее перспективными являются тонкие нанокристаллические пленки Au/WO₃:Au, которые характеризуются линейной концентрационной зависимостью отклика и высокой стабильностью параметров при эксплуатации.
Библиография:Библиогр.: 15 назв.
ISSN:0021-3411