Свойства сенсоров сероводорода на основе тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама - Севастьянов, Евгений Юрьевич; Максимова, Надежда Кузьминична; Черников, Евгений Викторович; Сергейченко, Надежда Владимировна; Рудов, Федор Валентинович (Известия высших учебных заведений. Физика)
Изучено влияние сероводорода в диапазоне концентраций 0–100 ppm на характеристики полученных методами магнетронного напыления тонких пленок диоксида олова и триоксида вольфрама, модифицированных золотом в объеме и на поверхности. В объем пленок SnO₂ дополнительно вводили примеси сурьмы и никеля. Определена оптимальная рабочая температура сенсоров 350 ºС, при которой имеет место удовлетворительное соотношение между значениями отклика на H₂S и времени отклика. Исследована деградация характеристик сенсоров в процессе долговременных (~0.5–1.5 года) испытаний при рабочей температуре и периодическом воздействии сероводорода, а также после хранения образцов в лабораторном воздухе. Показано, что для создания сенсоров H₂S наиболее перспективными являются тонкие нанокристаллические пленки Au/WO₃:Au, которые характеризуются линейной концентрационной зависимостью отклика и высокой стабильностью параметров при эксплуатации.