Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде
Установлены закономерности процесса распыления катода с тонкой диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющем разряде. Показано, что плотность потока распыленных с катода атомов максимальна на его участках с наименьшей толщиной пленки вследствие существования фокусировки на них ионного п...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 9. С. 99-104 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141731 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02605nab a2200337 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001141731 | ||
| 005 | 20240701165113.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240625|2015 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001141731 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Бондаренко, Геннадий Германович |d 1945- |9 100236 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде |c Г. Г. Бондаренко, В. И. Кристя, Йе Наинг Тун |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 11 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Установлены закономерности процесса распыления катода с тонкой диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющем разряде. Показано, что плотность потока распыленных с катода атомов максимальна на его участках с наименьшей толщиной пленки вследствие существования фокусировки на них ионного потока, которая обусловлена нарушением однородности электрического поля вблизи поверхности катода. В результате происходит увеличение неравномерности толщины пленки с течением времени, приводящее к образованию в ней пор. | |
| 653 | |a диэлектрические пленки | ||
| 653 | |a переменная толщина | ||
| 653 | |a тлеющие разряды | ||
| 653 | |a процессы распыления катода | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 966789 | |
| 700 | 1 | |a Кристя, Владимир Иванович |9 495391 | |
| 700 | 0 | |a Йе Наинг Тун |9 966791 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2015 |g Т. 58, № 9. С. 99-104 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141731 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1141731 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 1141731 |d 1141731 | ||