Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде

Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде

Установлены закономерности процесса распыления катода с тонкой диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющем разряде. Показано, что плотность потока распыленных с катода атомов максимальна на его участках с наименьшей толщиной пленки вследствие существования фокусировки на них ионного потока,...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 9. С. 99-104
Главный автор:	Бондаренко, Геннадий Германович 1945-
Другие авторы:	Кристя, Владимир Иванович, Йе Наинг Тун
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	диэлектрические пленки переменная толщина тлеющие разряды процессы распыления катода статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001141731

Похожие документы

Контактная задача об изгибе двухлистовой рессоры с листами переменной толщины
по: Осипенко, Михаил Анатольевич

Влияния условий горения разряда на распределения параметров плазмы, генерируемой в несамостоятельном тлеющем разряде внутри полого катода

Бесконтактный непрерывный контроль толщины полиэтиленовой пленки
по: Дунаевский, Григорий Ефимович

Снижение доли капельной фракции эрозии катода в плазме вакуумно-дугового разряда
по: Дубровская, Елена Леонидовна

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/
по: Линник, С. А. Степан Андреевич
Публикация: (2013)

Генерация плазмы в сильноточном тлеющем разряде с полым цилиндрическим катодом с использованием двух источников электронов
по: Островерхов, Евгений Владимирович

Исследование возможности уменьшения доли капельной фракции в эрозии катода вакуумной дуги
по: Дубровская, Елена Леонидовна

Исследование возможности уменьшения доли капельной фракции эрозии катода вакуумной дуги прицеленаправленном возбуждении капельных пятен
по: Дубровская, Елена Леонидовна

Исследование толщины снежного и ледяного покровов реки Томь геолокационными методами
по: Микутский, Евгений Александрович

Формирование волокнистых материалов методом пневматического распыления полимеров, находящихся в вязкотекучем состоянии

Распределение тока по поверхности полого катода для тлеющего разряда низкого давления

Источники широких пучков ионов газов на основе тлеющего разряда для технологических применений: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.13/
по: Емлин, Д. Р. Даниил Рафаилович
Публикация: (2013)

Приборы и методы контроля толщины покрытий: справочное пособие/
по: Валитов, А. М-З. Абдрашид Мухамед - Закирович, et al.
Публикация: (1970)

Влияние паров металлов и их соединений на электрические, температурные и оптические характеристики разряда с неохлаждаемым полым катодом диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Горбунова, Тамара Михайловна
Публикация: (1972)

Спектроскопическое определение некоторых электрических характеристик в тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Сончик, Вера Константиновна
Публикация: (1954)

Расчет толщины льда на реках Томского Приобья
по: Янковская, Анна Витальевна

Исследование распределения молекул по колебательным состояниям в тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Попова, Тамара Николаевна
Публикация: (1955)

HVPE growth of corundum-structured α-Ga2O3 on sapphire substrates with α-Cr2O3 buffer layer

Влияние структуры на перенос тока в пленках теллурида кадмия разной толщины

Влияние квазидвухлетних колебаний зонального ветра на вариации аэрозольной оптической толщины атмосферы
по: Николашкин, Семен Викторович

Зависимость критической толщины перехода по Странскому-Крастанову в системе GexSi1-x/Si от температуры и состава
по: Войцеховский, Александр Васильевич

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.07/
по: Блейхер, Г. А. Галина Алексеевна
Публикация: (2011)

Программный комплекс для решения задачи обращения спектральных измерений аэрозольной оптической толщины
по: Меньщикова, Светлана Сергеевна

Влияние толщины на спектры люминесценции и спектры диффузного отражения покрытия на основе фотолюминофора ФЛЖ 7-11

Combined effect of variable viscosity and thermal conductivity on mixed convection flow of a viscous fluid in a vertical channel in the presence of first order chemical reaction
по: Umavathi, Jawali C.

Структура и свойства покрытия на поверхности образцов из никелида титана, полученного методом электронно-лучевого распыления

MHD flow in a vertical channel under the effect of temperature dependent physical parameters
по: Umavathi, Jawali C.

Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы
по: Кузьмичев, Анатолий Иванович доктор техн. наук

Эктоны в вакуумном разряде: пробой, искра, дуга
по: Месяц, Геннадий Андреевич 1936-
Публикация: (2000)

Расчет критической толщины перехода по Странскому-Крастанову в материальной системе GeSi/Sn/Si
по: Лозовой, Кирилл Александрович

Основы технологии электронной компонентной базы: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направлений подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника"/
по: Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна
Публикация: (2022)

Влияние ударов II рода на интенсивность полос N2 и CO в тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Радиков, Д. Н.
Публикация: (1953)

Взрывоэмиссионный катод на основе углеродного волокна при работе в длительном импульсно-периодическом режиме и его применение в генераторе мощных СВЧ-импульсов без внешнего магнитного поля
по: Кутенков, Олег Петрович

Структурные преобразования коры мозжечка человека в постнатальном онтогенезе: Автореферат диссертации ... доктора медицинских наук: 14.00.02/
по: Цехмистренко, Т. А. анатомия Татьяна Александровна
Публикация: (2000)

Влияние полевой электронной эмиссии из катода с диэлектрической пленкой на характеристики нормального тлеющего разряда
по: Бондаренко, Геннадий Германович 1945-

Численное исследование естественной конвекции тепловыделяющей жидкости в замкнутой цилиндрической области с учетом переменной вязкости
по: Силютин, Степан Андреевич

Государственный водный кадастр. Многолетние характеристики притока воды, ледовых явлений и толщины льда крупнейших озер и водохранилищ России
Публикация: (2002)

Формирование ледяного покрова и пространственное распределение его толщины
по: Чижов, Алексей Николаевич
Публикация: (1990)

Интенсификация теплообмена в кубе с жидкостью переменной вязкости при наличии тепловыделяющего элемента
по: Астанина, Марина Сергеевна

Исследование бесконечнолинейной СМО с интенсивностью входящего потока, зависящей от состояния системы
по: Полин, Евгений Павлович