| Summary: | Построена теоретическая модель катодного слоя нормального тлеющего разряда при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. В ней кроме ионно-электронной эмиссии учитывается также полевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием возникающего в диэлектрике сильного электрического поля. Установлено, что влияние полевой электронной эмиссии на характеристики тлеющего разряда определяется эмиссионной эффективностью пленки, равной доле электронов, выходящих из нее в разрядный объем. Показано, что рассчитанное нормальное катодное падение напряжения разряда в аргоне в случае катода с пленкой оксида бария совпадает с его измеренным значением при величине эмиссионной эффективности пленки порядка 0.1, согласующейся с ее экспериментальными оценками.
|
|---|
