Естественное окисление ультратонких пленок меди
Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение проз...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 9. С. 88-93 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачности, поверхностного сопротивления и шероховатости поверхности, а также снижение отражения в области ближнего ИК-диапазона. При этом наибольшие изменения происходят в пленках, осажденных в импульсном режиме распыления с частотой 3 кГц по сравнению с пленками, нанесенными в режиме постоянного тока. Формирование подслоя ZnO:Al и верхнего пассивирующего слоя ZnO:Al толщиной 20 нм позволяет эффективно предотвращать окисление тонких пленок меди под воздействием окружающей атмосферы. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 14 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |