Естественное окисление ультратонких пленок меди
Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение проз...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 9. С. 88-93 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03191nab a2200373 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha001142285 | ||
| 005 | 20241126110020.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 240709|2017 ru s c rus d | ||
| 035 | |a koha001142285 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Естественное окисление ультратонких пленок меди |c В. А. Семенов, В. О. Оскирко, С. В. Работкин [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 14 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачности, поверхностного сопротивления и шероховатости поверхности, а также снижение отражения в области ближнего ИК-диапазона. При этом наибольшие изменения происходят в пленках, осажденных в импульсном режиме распыления с частотой 3 кГц по сравнению с пленками, нанесенными в режиме постоянного тока. Формирование подслоя ZnO:Al и верхнего пассивирующего слоя ZnO:Al толщиной 20 нм позволяет эффективно предотвращать окисление тонких пленок меди под воздействием окружающей атмосферы. | |
| 653 | |a медь | ||
| 653 | |a тонкие пленки | ||
| 653 | |a окисление | ||
| 653 | |a микроструктура | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 968200 | |
| 700 | 1 | |a Семенов, Вячеслав Аркадьевич |9 500433 | |
| 700 | 1 | |a Оскирко, Владимир Олегович |9 500434 | |
| 700 | 1 | |a Работкин, Сергей Викторович |9 500432 | |
| 700 | 1 | |a Оскомов, Константин Владимирович |9 384423 | |
| 700 | 1 | |a Соловьев, Андрей Александрович |9 347479 | |
| 700 | 1 | |a Степанов, Сергей Александрович |c канд. физ.-мат. наук |9 396806 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2017 |g Т. 60, № 9. С. 88-93 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=1142285 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 1142285 |d 1142285 | ||
| 039 | |b 100 | ||