|
|
|
|
| LEADER |
02952nab a2200349 c 4500 |
| 001 |
koha001142285 |
| 005 |
20241126110020.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240709|2017 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001142285
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Естественное окисление ультратонких пленок меди
|c В. А. Семенов, В. О. Оскирко, С. В. Работкин [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 14 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачности, поверхностного сопротивления и шероховатости поверхности, а также снижение отражения в области ближнего ИК-диапазона. При этом наибольшие изменения происходят в пленках, осажденных в импульсном режиме распыления с частотой 3 кГц по сравнению с пленками, нанесенными в режиме постоянного тока. Формирование подслоя ZnO:Al и верхнего пассивирующего слоя ZnO:Al толщиной 20 нм позволяет эффективно предотвращать окисление тонких пленок меди под воздействием окружающей атмосферы.
|
| 653 |
|
|
|a медь
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a окисление
|
| 653 |
|
|
|a микроструктура
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Семенов, Вячеслав Аркадьевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскирко, Владимир Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Работкин, Сергей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскомов, Константин Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьев, Андрей Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Степанов, Сергей Александрович
|c канд. физ.-мат. наук
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2017
|g Т. 60, № 9. С. 88-93
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1142285
|d 1142285
|
