Естественное окисление ультратонких пленок меди - Семенов, Вячеслав Аркадьевич; Оскирко, Владимир Олегович; Работкин, Сергей Викторович; Оскомов, Константин Владимирович; Соловьев, Андрей Александрович; Степанов, Сергей Александрович канд. физ.-мат. наук (Известия высших учебных заведений. Физика)
Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачности, поверхностного сопротивления и шероховатости поверхности, а также снижение отражения в области ближнего ИК-диапазона. При этом наибольшие изменения происходят в пленках, осажденных в импульсном режиме распыления с частотой 3 кГц по сравнению с пленками, нанесенными в режиме постоянного тока. Формирование подслоя ZnO:Al и верхнего пассивирующего слоя ZnO:Al толщиной 20 нм позволяет эффективно предотвращать окисление тонких пленок меди под воздействием окружающей атмосферы.