Естественное окисление ультратонких пленок меди
Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачн...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 9. С. 88-93 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285 |