Естественное окисление ультратонких пленок меди
Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачн...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 9. С. 88-93 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285 |