Естественное окисление ультратонких пленок меди

Естественное окисление ультратонких пленок меди

Рассмотрено окисление поликристаллических пленок Cu под воздействием окружающей атмосферы в течение длительного периода времени (от 20 до 90 дней). Показано, что у пленок Cu толщиной 10 нм, осажденных на подложки из стекла методом магнетронного распыления, со временем наблюдается увеличение прозрачн...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 9. С. 88-93
Другие авторы:	Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович, Работкин, Сергей Викторович, Оскомов, Константин Владимирович, Соловьев, Андрей Александрович, Степанов, Сергей Александрович канд. физ.-мат. наук
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	медь тонкие пленки окисление микроструктура статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142285

Похожие документы

Поверхностные фононы тонких пленок Pb на поверхности Cu(III)
по: Борисова, Светлана Давыдовна

Адсорбция атомов титана, хрома и меди на поверхности тонких пленок оксидов алюминия и магния

Термическая стабильность вторичной меди
по: Морозова, Анна Игоревна

Микроструктура и свойства тонких пленок SnO2, предназначенных для создания сенсоров восстановительных газов диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
по: Сергейченко, Надежда Владимировна
Публикация: (2013)

Коагуляция и динамика тонких пленок
по: Духин, Станислав Самуилович
Публикация: (1986)

Получение и свойства тонких пленок: Сборник научных трудов/
Публикация: (1982)

Carbon monoxide oxidation promoted by a highly active strained PdO layer at the surface of Au30Pd70(110)

Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1977)

Электропроводность тонких диэлектрических пленок: Учебное пособие/
по: Кунин, В. Я. Вадим Яковлевич, et al.
Публикация: (1981)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
по: Лютович, Абрам Срулевич
Публикация: (1982)

Вакуумное нанесение тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1967)

Структура и свойства пленок из высокоэнтропийного материала с термоупругими фазовыми превращениями FeNiCoAlW, полученных магнетронным распылением

Технология тонких пленок справочник : [В 2 т. ]
Публикация: (1977)

Технология тонких пленок cправочник : [В 2 т. ]
Публикация: (1977)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Бернинг, П. Х., et al.
Публикация: (1967)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Берри, Р. У., et al.
Публикация: (1967)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Берндт, К. Г., et al.
Публикация: (1968)

Исследование особенностей эволюции структуры приповерхностного слоя псевдосплава W-Cu при воздействии высокотемпературным газовым потоком

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: пер с англ./
Публикация: (1973)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: Пер. с англ./
Публикация: (1978)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: Пер. с англ./
Публикация: (1977)

Электронномикроскопическое исследование особенностей формирования пластической деформации в ультрамелкозернистой меди
по: Дитенберг, Иван Александрович

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: Сборник статей: Пер. с англ./
по: Коссель, Д., et al.
Публикация: (1972)

Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/
Публикация: (1991)

Электронно-лучевой метод получения тонких пленок из химических соединений/
по: Вишняков, Б. А. Борис Александрович, et al.
Публикация: (1970)

Пластическая деформация тонких пленок Ti
по: Бурков, Ю. Г.

Особенности микроструктуры и закономерности упрочнения меди при механической активации и кручении на наковальнях Бриджмена

Effect of electric-current pulses on grain-structure evolution in cryogenically rolled copper

Получение свободных монокристаллических пленок в системе Bi-Ga-Al-As/GaAs
по: Оскомова, Н. В.

Одноосная анизотропия и чувствительность к деформации пленок состава железо - никель - хром/
по: Гурковский, О.А
Публикация: (1969)

Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. )
Публикация: (1983)

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969)

Исследование влияния аммиака на многослойные системы на основе меди
по: Литягина, Е. А.

Вибрационные свойства тонких пленок переходных 3d-металлов на поверхности (111) Cu
по: Борисова, Светлана Давыдовна

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Беннет, Дж. М., et al.
Публикация: (1970)

Влияние нанесения LiF на электрические характеристики тонких пленок пентацена
по: Терещенко, Евгений Васильевич

Изменение коэффициента пропускания тонких пленок поликапролактона после модификации в плазме
по: Филиппова, Екатерина Олеговна

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Определение концентрации кобальта и меди в технологических потоках процесса окисления циклогексана методом МП-АЭС
по: Понарин, Никита Владимирович

Исследование формирования и деградации тонких металлических пленок в различных условиях
по: Шугуров, Артур Рубинович