Влияние ступенчатой поверхности Si(100) на процесс зарождения островков Ge

Проведены исследования зарождения островков Ge на ступенчатой поверхности Si(100). По дифракции быстрых электронов показано, что при температуре 600 оС при неизменном потоке Si со скоростью осаждения 0.652 Å/с происходит полное исчезновение серии рефлексов от сверхструктуры 1×2 при предварительном н...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 60, № 11. С. 13-19
Other Authors: Есин, Михаил Юрьевич, Никифоров, Александр Иванович, Тимофеев, Вячеслав Алексеевич, Машанов, Владимир Иванович, Туктамышев, Артур Раисович, Лошкарев, Иван Дмитриевич, Пчеляков, Олег Петрович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142319
LEADER 02942nab a2200373 c 4500
001 koha001142319
005 20240724122219.0
007 cr |
008 240710|2017 ru s c rus d
035 |a koha001142319 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Влияние ступенчатой поверхности Si(100) на процесс зарождения островков Ge  |c М. Ю. Есин, А. И. Никифоров, В. А. Тимофеев [и др.] 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 10 назв. 
520 3 |a Проведены исследования зарождения островков Ge на ступенчатой поверхности Si(100). По дифракции быстрых электронов показано, что при температуре 600 оС при неизменном потоке Si со скоростью осаждения 0.652 Å/с происходит полное исчезновение серии рефлексов от сверхструктуры 1×2 при предварительном нагреве до 1000 оС подложки Si(100), отклоненной к плоскости (111) на угол 0.35о. Исчезновение рефлексов сверхструктуры 1×2 обусловлено переходом поверхности от моноатомных к двухатомным ступеням. Исследования роста островков Ge проводились на поверхности Si(100), которая предварительно отжигалась при температурах 800 и 1000 оС. Показано, что островки имеют тенденцию зарождаться на краях ступенек. 
653 |a дифракция быстрых электронов 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a атомно-силовая микроскопия 
653 |a островки Ge 
653 |a поверхность Si(100) 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Есин, Михаил Юрьевич 
700 1 |a Никифоров, Александр Иванович 
700 1 |a Тимофеев, Вячеслав Алексеевич 
700 1 |a Машанов, Владимир Иванович 
700 1 |a Туктамышев, Артур Раисович 
700 1 |a Лошкарев, Иван Дмитриевич 
700 1 |a Пчеляков, Олег Петрович 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2017  |g Т. 60, № 11. С. 13-19  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142319 
908 |a статья 
999 |c 1142319  |d 1142319