|
|
|
|
| LEADER |
02469nab a2200301 c 4500 |
| 001 |
koha001142639 |
| 005 |
20241129150221.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240815|2016 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001142639
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Беляев, Борис Афанасьевич
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок
|c Б. А. Беляев, А. В. Изотов, П. Н. Соловьев
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 27 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автокорреляционная функция микроструктуры и быстрое преобразование Фурье. Показано, что с увеличением угла падения частиц плотность пленки монотонно падает, при этом возникает и монотонно растет анизотропия формы поперечного сечения столбцов, а также растет анизотропия в распределении столбцов по плоскости подложки.
|
| 653 |
|
|
|a осаждение наклонное
|
| 653 |
|
|
|a моделирование роста пленок
|
| 653 |
|
|
|a Монте-Карло метод
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Изотов, Андрей Викторович
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьев, Платон Николаевич
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2016
|g Т. 59, № 2. С. 120-125
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142639
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1142639
|d 1142639
|
