Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок - Беляев, Борис Афанасьевич (Известия высших учебных заведений. Физика)
На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автокорреляционная функция микроструктуры и быстрое преобразование Фурье. Показано, что с увеличением угла падения частиц плотность пленки монотонно падает, при этом возникает и монотонно растет анизотропия формы поперечного сечения столбцов, а также растет анизотропия в распределении столбцов по плоскости подложки.