Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок
На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автоко...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 2. С. 120-125 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142639 |