Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок
На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автоко...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 2. С. 120-125 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142639 |