Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок

Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок

На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автоко...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 59, № 2. С. 120-125
Главный автор:	Беляев, Борис Афанасьевич
Другие авторы:	Изотов, Андрей Викторович, Соловьев, Платон Николаевич
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	осаждение наклонное моделирование роста пленок Монте-Карло метод статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001142639

Похожие документы

Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/
по: Александров, Л. Н. Леонид Наумович, et al.
Публикация: (1991)

Управление свойствами пленок, получаемых плазмохимическим осаждением
по: Лакида, Павел Алексеевич

Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок [сборник докладов : в 2 ч.]
Публикация: (1975)

Моделирование и статистический анализ псевдослучайных чисел на электронных вычислительных машинах: научное издание/
по: Голенко, Д. И. Дмитрий Исаакович
Публикация: (1965)

Компьютерное моделирование послойного роста грани 3D-островка
по: Безродный, Дмитрий Алексеевич

Алгоритм анализа систем управления ансамблем траекторий с учетом случайного изменения структуры и скачков
по: Аверина, Татьяна Александровна

Численное исследование структуры метастабильных конфигураций в задаче Томсона
по: Бондаренко, Анатолий Николаевич

Влияние шума на ошибку определения координат плоского вихря в деформируемом материале методом Монте-Карло
по: Кибиткин, Владимир Васильевич

Effect of external stresses on efficiency of dislocation sinks in BCC (Fe, V) and FCC (Cu) crystals

Стохастическая аппроксимация: научное издание/
по: Вазан, М. Т.
Публикация: (1972)

Метод Монте-Карло: курс лекций/
по: Соболь, И. М. Илья Меерович
Публикация: (1978)

Метод Монте-Карло: курс лекций/
по: Соболь, И. М. Илья Меерович
Публикация: (1972)

Моделирование методом Монте-Карло вывода излучения из светодиодной структуры с текстурированными интерфейсами

Модели декаметрового радиосигнала, наклонно отраженного от ионосферы диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.03
по: Журавский, Оскар Григорьевич
Публикация: (1984)

Микроструктурирование тонких пленок
Публикация: (1991)

Atmospheric channel for bistatic optical communication: Simulation algorithms
по: Belov, Vladimir Vasilevich

Dislocation sinks efficiency for self-point defects in iron and vanadium crystals

Метод Монте-Карло для локализации робота на карте местности
по: Шихман, Марина Владимировна

Моделирование методом Монте-Карло процессов диффузии в трехкомпонентных сплавах

Анализ основного состояния наноразмерной ферримагнитной частицы
по: Найден, Евгений Петрович 1940-2015

Software package for reconstructing reflective properties of the Earth's surface in the visible and UV ranges
по: Tarasenkov, M. V.

Estimation of the error of the algorithm for reconstructing the reflection coefficient of the Earth surface on the example of images with the low atmospheric turbidity
по: Belov, Vladimir Vasilevich

Magnetic structure of nanosized ferromagnetic particle depending on external parameters
по: Rodionov, Valentin Anatolevich

Использование полиномов Чебышева в исследовании временных рядов
по: Катаева, Елена Сергеевна

Data analysis Statistical and computational methods for scientists and engineers
по: Brandt, Siegmund
Публикация: (1998)

Алгоритм атмосферной коррекции спутниковых изображений неоднородной земной поверхности в видимом и УФ-диапазонах длин волн
по: Тарасенков, Михаил Викторович

Монте-Карло-моделирование адсорбции анизотропных невзаимодействующих молекул на поверхность (111) ГЦК-кристалла
по: Филимонов, Сергей Николаевич

Влияние внешнего масштаба турбулентности на распространение акустического излучения в движущейся турбулентной атмосфере

Метод Монте-Карло и смежные вопросы: научное издание/
по: Ермаков, С. М. Сергей Михайлович
Публикация: (1975)

Численные методы Монте-Карло: научное издание/
по: Соболь, И. М. Илья Меерович
Публикация: (1973)

Учет поляризации оптического излучения при статистическом моделировании процесса формирования спутниковых изображений земной поверхности
по: Белов, Владимир Васильевич

Эволюция магнитной структуры наночастицы феррошпинели при изменении температуры
по: Найден, Евгений Петрович 1940-2015

Динамика теплового распада фуллерена С20 при различных давлениях
по: Катин, Константин Петрович

Анализ прохождения плоскопараллельных пучков электронов через различные среды методами численного моделирования

Исследование и статистический анализ углового распределения яркости для различных моделей атмосферы
по: Халиуллина, Алина Рафаиловна

Монте-Карло-моделирование элементарных процессов роста на ступени конечной длины
по: Алексеев, Г. Г.

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2014)

Металлоорганические соединения в электронике/
по: Разуваев, Г.А, et al.
Публикация: (1972)

Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок [сборник докладов : в 2 ч.]
Публикация: (1975)

Methods for robot localization on a map
по: Shikhman, M. V.