|
|
|
|
| LEADER |
02663nab a2200325 c 4500 |
| 001 |
koha001143757 |
| 005 |
20240920121452.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
240917|2015 ru s c rus d |
| 035 |
|
|
|a koha001143757
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Блейхер, Галина Алексеевна
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
|c Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 9 назв.
|
| 520 |
3 |
|
|a Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями.
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 653 |
|
|
|a жидкофазные мишени
|
| 653 |
|
|
|a эмиссия атомов
|
| 653 |
|
|
|a распыление
|
| 653 |
|
|
|a испарение
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Кривобоков, Валерий Павлович
|
| 700 |
1 |
|
|a Юрьева, Алена Викторовна
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2015
|g Т. 58, № 4. С. 3-8
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001143757
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 1143757
|d 1143757
|
