Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследов...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 4. С. 3-8 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001143757 |