Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследов...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 4. С. 3-8
Главный автор:	Блейхер, Галина Алексеевна
Другие авторы:	Кривобоков, Валерий Павлович, Юрьева, Алена Викторовна
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	магнетронные распылительные системы жидкофазные мишени эмиссия атомов распыление испарение статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001143757

Похожие документы

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.07/
по: Блейхер, Г. А. Галина Алексеевна
Публикация: (2011)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Рычков Дмитрий Сергеевич
Публикация: (2004)

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Рычков Дмитрий Сергеевич
Публикация: (2004)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge

Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда
по: Рычков, Д. С.

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы
по: Кузьмичев, Анатолий Иванович доктор техн. наук

Ультразвуковое распыление жидкостей монография
по: Хмелев, Владимир Николаевич
Публикация: (2010)

Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
по: Захаров, А. Н.

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок

Переднее охлаждение твердотельной мишени при производстве радионуклидов йода на циклотроне автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.14
по: Салодкин, С. С. специалист в области ядерных технологий инженер Томского политехнического университета 1992-
Публикация: (2024)

Слой пространственного заряда вблизи диэлектрической мишени, облучаемой электронным пучком
по: Бурдовицин, Виктор Алексеевич

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994-
Публикация: (2022)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Блейхер, Г. А. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1961-
Публикация: (2011)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Блейхер, Г. А. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1961-
Публикация: (2011)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994-
Публикация: (2022)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Блейхер, Г. А. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1961-
Публикация: (2011)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994-
Публикация: (2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/
по: Юрьева, А. В. Алена Викторовна
Публикация: (2017)

Переднее охлаждение твердотельной мишени при производстве радионуклидов йода на циклотроне диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.14
по: Салодкин, С. С. специалист в области ядерных технологий инженер Томского политехнического университета 1992-
Публикация: (2024)

Переднее охлаждение твердотельной мишени при производстве радионуклидов йода на циклотроне автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.14
по: Салодкин, С. С. специалист в области ядерных технологий инженер Томского политехнического университета 1992-
Публикация: (2024)

Термоэлектронная эмиссия
по: Херинг, К.
Публикация: (1950)

Электронная и ионная эмиссия Библиографический указатель
Публикация: (1960)

Действие излучения большой мощности на металлы: научное издание/
по: Анисимов, С. И., et al.
Публикация: (1970)

Вторичная ионная эмиссия металлов: научное издание/
по: Векслер, В. И. Владимир Исаакович
Публикация: (1978)