Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления - Кузьминов, Евгений Дмитриевич (Известия высших учебных заведений. Физика)
Изучены состав, структура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методами сильноточного импульсного магнетронного распыления и магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что при сильноточном импульсном распылении ток и мощность магнетронного разряда экспоненциально возрастают во время импульса и достигают пиковых значений, которые на порядок величины превосходят аналогичные характеристики при распылении на постоянном токе. Высокий уровень ионизации распыленных частиц обусловил существенное увеличение количества ионов в потоке частиц, осаждаемых на подложку. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущих покрытий обеспечило подавление роста столбчатых зерен и формирование более плотной и однородной микроструктуры, что позволило улучшить их механические характеристики.