|
|
|
|
| LEADER |
03148nab a2200433 c 4500 |
| 001 |
koha001144847 |
| 005 |
20241014164858.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
241001|2024 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/67/5/2
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha001144847
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек
|c Н. Н. Юдин, М. М. Зиновьев, С. Н. Подзывалов [и др.]
|
| 246 |
1 |
1 |
|a Mid-IR antireflective interference oxide coatings for semiconductor optical substrates
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 12 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5–5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ.
|
| 653 |
|
|
|a ионно-лучевое распыление
|
| 653 |
|
|
|a оксид титана
|
| 653 |
|
|
|a оксид кремния
|
| 653 |
|
|
|a дисперсия
|
| 653 |
|
|
|a интерференционные покрытия
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Юдин, Николай Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Зиновьев, Михаил Михайлович
|
| 700 |
1 |
|
|a Подзывалов, Сергей Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Кузнецов, Владимир Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Слюнько, Елена Сергеевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Габдрахманов, Акмаль Шамилович
|
| 700 |
1 |
|
|a Лысенко, Алексей Борисович
|
| 700 |
1 |
|
|a Кальсин, Андрей Юрьевич
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2024
|g Т. 67, № 5. С. 15-19
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 942 |
|
|
|2 udc
|
| 999 |
|
|
|c 1144847
|d 1144847
|