Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек

Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого рас...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 67, № 5. С. 15-19
Other Authors: Юдин, Николай Николаевич, Зиновьев, Михаил Михайлович, Подзывалов, Сергей Николаевич, Кузнецов, Владимир Сергеевич, Слюнько, Елена Сергеевна, Габдрахманов, Акмаль Шамилович, Лысенко, Алексей Борисович, Кальсин, Андрей Юрьевич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847
LEADER 03148nab a2200433 c 4500
001 koha001144847
005 20241014164858.0
007 cr |
008 241001|2024 ru s c rus d
024 7 |a 10.17223/00213411/67/5/2  |2 doi 
035 |a koha001144847 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек  |c Н. Н. Юдин, М. М. Зиновьев, С. Н. Подзывалов [и др.] 
246 1 1 |a Mid-IR antireflective interference oxide coatings for semiconductor optical substrates 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 12 назв. 
506 |a Ограниченный доступ 
520 3 |a Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5–5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ. 
653 |a ионно-лучевое распыление 
653 |a оксид титана 
653 |a оксид кремния 
653 |a дисперсия 
653 |a  интерференционные покрытия 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Юдин, Николай Николаевич 
700 1 |a Зиновьев, Михаил Михайлович 
700 1 |a Подзывалов, Сергей Николаевич 
700 1 |a Кузнецов, Владимир Сергеевич 
700 1 |a Слюнько, Елена Сергеевна 
700 1 |a Габдрахманов, Акмаль Шамилович 
700 1 |a Лысенко, Алексей Борисович 
700 1 |a Кальсин, Андрей Юрьевич 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2024  |g Т. 67, № 5. С. 15-19  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001144847 
908 |a статья 
942 |2 udc 
999 |c 1144847  |d 1144847