Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек - Юдин, Николай Николаевич; Зиновьев, Михаил Михайлович; Подзывалов, Сергей Николаевич; Кузнецов, Владимир Сергеевич; Слюнько, Елена Сергеевна; Габдрахманов, Акмаль Шамилович; Лысенко, Алексей Борисович; Кальсин, Андрей Юрьевич (Известия высших учебных заведений. Физика)
Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5–5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ.