Компьютерное моделирование начальных стадий роста карбида кремния на кремнии из монометилсилана - Петраков, Владислав Александрович (Физика твердого тела : сборник материалов XIX Российской студенческой конференции, посвященной 85-летию кафедры физики твердого тела физического факультета ТГУ (13-17 мая 2024 г.))